其主要工作原理是，通过压电陶瓷将电信号转换成超声波(>20KHz)，用超声波对样品内部进行高精度地扫描，根据超声波在不同密度材料中的传播速度和反射系数的差异，获得样品内部不同区域的超声波透射或反射，再经由软件算法处理和成像。SAM的核心构成为，电气部件、机械装置、声学部件、软件系统。
产品特点
SonIX Echo-LS能检测到小至0.05um的缺陷，而且对于bump、叠die(3D封装)、倒装芯片及各种传统的塑料封装等具有的检测性能。提高生产效率和产量，使用ECHO的设备和软件容易的设置和使用。
技术参数：
机台尺寸
79cm*9cm*22cm
步进轴（Y）
定位装置：低电磁干扰导轨式步进马达
扫描轴（X）
定位装置：线性伺服马达
分辨率：0.25um
大速度：1000mm/sec
大扫描区域：350mm
重复精度：+/-0.5um
聚焦轴（Z）
定位装置：低电磁干扰导轨式步进马达
编码器分辨率：0.5um
分辨率：0.25um
大扫描区域：350mm
大行程：50mm
夹具
JEDEC标准尺寸托盘夹具
脉冲发生器
DPR500接收器配置L2/H4脉冲发生器
扫描平台可固定*的托盘夹具
可选U4超高频脉冲发生器
透射杆探头固定
流体系统
循环泵和5um过滤器
注：ECHO LS是目前国内使用广泛的一款型号
工艺过程监测
合格/失效分选
专业认证
SONIX扫描探头频率范围从10MHz到300MHz,适合各种类型的应用和材料。
其它关键特点：
减少实验室空间(占地面积小)
键盘快捷键(方便移动操作)
全焊接机身框架(促进平台稳定性)
降低水槽高度(人体工程学设计)
可同时进行反射扫描和透射扫描
大360度可视
超大扫描面积
水槽底部倾斜(易于排干水)
探头随Z轴移动(取代托盘上下移动)
可滑动支架
符合欧洲机械指令
紧凑、稳定的结构设计(低维护)
符合CE,SEMI S2,NRTL
可滑动的电气面板(方便维护)
防静电涂层(安全罩、水槽、门等)
其它特色软件功能选项
TAMI SCAN:一次扫描得到多200张断层图像
ICEBERG:强大的离线分析技术
WinIC Pro:增加功能和分析
WinIC Offiline：远程分析
Waveform Simulator/Beam Emulator：波形仿真器
ECHO机台面板与WinIC软件的组合，给用户提供一个强大、简易使用的分析工具。WinIC软件是Sonix公司独Jia研发的超声波扫描显示镜成像软件，提供良好的图像分析功能以帮助定量和定性分析图像数据。WinIC使用大量的图形和屏幕指导帮助所有用户，从入门到精通。
SONIX软件优势
●可编程扫描，自动分析
定制扫描程序，一键开始扫描，自动完成分析，生成数据
●FSF表面跟踪线
样品置于不平的情况下，自动跟踪平面，获取同一层面图片
●ICEBERG离线分析
存储数据后，可在个人电脑上进行再次分析
●TAMI断层显微成象扫描
无需精确选择波形，可任意设定扫描深度及等分厚度，一次扫描可获得200张图片，快速完成分析。
SONIX软件-应用于塑封FlipChip和Stacked Die产品的成像功能
http://www.sikcn.com.cn/Products-31815333.html
https://www.chem17.com/st404369/product_31815333.html