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灯丝维护：定期检查灯丝的对中情况，确保其居中，避免因偏斜导致的亮度不均。在更换新灯丝时，应执行“除湿脱气”程序，减少新灯丝上吸附的灰尘对真空度的影响。同时，适当增加灯丝高度可以降低灯丝饱和电流，延长灯丝寿命。
电子枪清洁：定期清洁栅极片和光阑，以防止钨阴极蒸汽污染。这包括使用金属研磨膏擦拭栅极片，并用超声波清洗。
真空系统维护：保持镜筒内的高真空度，经常检查真空泵的油面，及时加油，并定期用真空计检查真空度。同时，注意水管连接是否安全牢靠，每月检查水箱水位并及时补充蒸馏水。
日常操作注意事项：保持仪器操作台面整洁，开机时先开水冷系统，关机后等待一段时间再关闭冷却水。在更换钨灯丝或操作仪器时，务必遵守操作规程，避免损坏仪器。
