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光谱膜厚仪主要由以下几个组成部件构成：
1、光源：光源是其重要组成部件之一，通常采用白炽灯、氘灯或钨灯等作为光源。光源的稳定性和光谱特性直接影响到测量结果的准确性。不同类型的光源具有不同的光谱特性，可以满足不同材料的测量需求。
2、分光器：分光器用于将来自光源的光束分成不同波长的光，通常采用棱镜或光栅来实现光的分离。分光器的设计和性能直接影响到光谱膜厚仪的分辨率和灵敏度。
3、样品台：样品台是放置待测薄膜样品的平台，通常具有微米级的移动精度，可以实现对样品位置的精确定位。样品台的稳定性和精度对测量结果的准确性至关重要。
4、检测器：检测器用于接收经过样品后的光信号，并将其转换成电信号进行处理。常用的检测器包括光电二极管、光电倍增管等，其灵敏度和响应速度直接影响到测量的灵敏度和时间分辨率。
5、数据处理系统：数据处理系统包括数据采集卡、计算机和相应的数据处理软件，用于采集、处理和分析测量得到的光谱数据。数据处理系统的性能和功能决定了用户能否准确、快速地获取所需的测量结果。
光谱膜厚仪
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https://www.chem17.com/st484232/list_2379766.html
