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富士工业高精度单成分硫酸浓度计 FUD-1 Model-130 CMP用/汎用薬液用
超声波液体浓度计
FUD-1Model-130系列CMP用
测量原理
超声波在液体中非常易于传播
超声波在溶液中传播的速度受溶液的浓度和温度影响
「浓度变化」→「密度变化」→「音速变化」
本产品利用超声波的特性，高精度的测量溶液的浓度
测量「溶液的温度」+「超声波的速度」→通过CPU演算处理→浓度显示
单组分密度计的特点
Model-130是一个概念模型，强调了所测量浓度的稳定性
在需要高精度和高稳定性密度计侧的半导体制造过程中非常有效
可以高精度连续测量
免维护，无需定期调整/校准
易于安装，因为在安装过程中无需进行任何调整
通过实时输出轻松反馈到过程
单成分浓度计的特点
Model-130是重视测量浓度稳定性的概念模型
半导体制造工序等的高精度·高稳定浓度计方面被认为是必要的
优点
高精度连续计测可能
无需定期调整、校对，无需维护
设置时的各种调整等不需要也容易设置
由于实时输出反馈也容易
用途
在CMP工序中的CMP衬垫或氧化剂浓度管理等
稀释工程的各种药液浓度管理等（H2O2·TMAH·HNO3·H2SO4·HCI等）
在清洗过程中的清洗液浓度管理等（HF·NH4OH·KOH·PA等）
蚀刻工序中的蚀刻液浓度管理等（HF·H2S04等）
富士工业 高精度单成分硫酸浓度计 FUD-1 Model-130 CMP用/汎用薬液用
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