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热式原理
一体化设计
满量程从 5SCCM 到 1000SLPM
响应时间不超过 2 秒钟
操作压力可达 20.7MPa
对安装位置不敏感
316SS 材质，允许测量腐蚀性气体
无直管段安装要求
单电源供电
二、高压质量流量控制器技术参数
流量范围 ：从 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2 ，具体请参考表一
响应时间 ： 1 ～ 2 秒
精 度 ： ± 1% 满量程（除 204A 型）
---------± 1± 1.5%.满量程（ 204A 型）
重 复 性 ： ± 0.2% 满量程
量 程 比 ： 50:1 （ 2%-100% 满量程）
环境和操作温度 ： -10 ～ 70 ℃
大操作压力 ： 3000PSIG （ 20.7MPa ），具体请参考资料
零点漂移： ± 0.05 % 满量程 / ℃
范围漂移 ： ± 0.05 % 读数 / ℃
压力漂移 ： 0.1%/atm （相对于 N 2 ）
安装方向 ： 对位置不敏感
预热时间 ： 10 分钟
电气连接 ： 卡式 （ 20 针）或 D 型（ 9 针）
设定点输入流量信号输出 ：0-5VDC/0-5VDC；4-20mA/4-20mA
供应电源 ：
电压输出：＋ 12( ± 5 ％ ) （仅适用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信号输出）或 15( ± 10 ％ )VDC
电流输出：＋ 15( ± 5 ％ ) 或 24( ± 15 ％ )VDC
电流消耗：＜ 250mAdc
重 量 ：请参考表一
三、结构材质
主体： 316SS
传感器组件 ： 316LSS
孔： 316SS
阀构成部件 （接液）：
302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik?1802 （除 202 、 221 、 222 和 251 型）；302SS ， 316SS ， Sandvik?1802 （ 202 、 221 、 222 和 251 型）
密封材质（” O ”型环和阀座）：
Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton （除 202A 、 203A 和 204A 型）；Buna N ， Viton（ 202A 、 203A 和 204A 型）
过程连接： 316SS
四、选型表
|
型号 |
流量范围 小/大 N2 |
大操作压力 PSIG(MPa) |
重量 Ibs(Kg) |
|
201 |
0-5SCCM/0-10SLPM |
1000(6.9) |
1.2(0.54) |
|
202 |
0-10SLPM/0-100SLPM |
1000(6.9) |
4.1(1.86) |
|
221 |
0-5SCCM/0-10SLPM |
3000(20.7) |
4.1（1.86） |
|
222 |
0-10SLPM/0-100SLPM |
3000(20.7) |
4.1（1.86） |
|
251 |
0-10SLPM/0-50SLPM |
1000(6.9) |
1.4（0.64） |
|
202A |
0-10SLPM/0-100SLPM |
200(1.4) |
5.1（2.31） |
|
203A |
0-100SLPM/0-500SLPM |
200(1.4) |
10.9（4.95） |
|
204A |
0-500SLPM/0-1000SLPM |
200(1.4) |
10.9（4.95） |
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